Raman spectroscopy of sputtered AlN films: E-2(high) biaxial strain dependence
2006
Détails
Titre
Raman spectroscopy of sputtered AlN films: E-2(high) biaxial strain dependence
Auteur(s)
Trodahl, H. J. ; Martin, F. ; Muralt, P. ; Setter, N.
Publié dans
Applied Physics Letters
Volume
89
Numéro
6
Pages
061905
Date
2006
ISSN
0003-6951
Note
061905
Autres identifiant(s)
DAR: 9081
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Laboratoires
LC
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Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2007-10-18