Process optimization for the sputter deposition of molybdenum thin films as electrode for AlN thin films
2006
Détails
Titre
Process optimization for the sputter deposition of molybdenum thin films as electrode for AlN thin films
Auteur(s)
Martin, F. ; Muralt, P. ; Dubois, M. A.
Publié dans
Journal Of Vacuum Science & Technology A
Volume
24
Numéro
4
Pages
946-952
Date
2006
ISSN
0734-2101
Autres identifiant(s)
DAR: 8939
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Laboratoires
LC
Le document apparaît dans
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Date de création de la notice
2007-10-18