Shear mode coupling and properties dispersion in 8 GHz range AlN thin film bulk acoustic wave (BAW) resonator
2006
Détails
Titre
Shear mode coupling and properties dispersion in 8 GHz range AlN thin film bulk acoustic wave (BAW) resonator
Auteur(s)
Martin, F. ; Jan, M. E. ; Belgacem, B. ; Dubois, M. A. ; Muralt, P.
Publié dans
Thin Solid Films
Volume
514
Numéro
1-2
Pages
341-343
Date
2006
ISSN
0040-6090
Autres identifiant(s)
DAR: 8958
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Laboratoires
LC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LC - Laboratoire de céramique
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Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2007-10-18