MEMS Tunable Capacitors With Fragmented Electrodes and Electro-Thermal Actuation
2004
Détails
Titre
MEMS Tunable Capacitors With Fragmented Electrodes and Electro-Thermal Actuation
Auteur(s)
Mehdaoui, A. ; Casset, F. ; Bouche, G. ; Ancey, P. ; Ionescu, A. M.
Publié dans
15th MicroMechanics Europe Workshop
Date
2004
Laboratoires
NANOLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > NANOLAB - Laboratoire des dispositifs nanoélectroniques
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2007-10-10