A Study of Fabrication Techniques for Sub-10nm Thin Undulated Polysilicon Films
2003
Détails
Titre
A Study of Fabrication Techniques for Sub-10nm Thin Undulated Polysilicon Films
Auteur(s)
Badila, N. ; Ecoffey, S. ; Bouvet, D. ; Ionescu, A. M.
Publié dans
2003 International Semiconductor Conference. CAS 2003 Proceedings
Volume
1
Pages
95-98
Date
2003
Laboratoires
NANOLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > NANOLAB - Laboratoire des dispositifs nanoélectroniques
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Publié
Date de création de la notice
2007-10-10