Reusability of nanostencils for the patterning of Aluminum nanostructures by selective wet etching
2007
Files
Résumé
Reusability of nanostencils for the patterning of Aluminum nanostructures by selective wet etching
Détails
Titre
Reusability of nanostencils for the patterning of Aluminum nanostructures by selective wet etching
Auteur(s)
Vázquez-Mena, O. ; Villanueva, Guillermo ; van den Boogaart, M. A. F. ; Savu, V. ; Brugger, J.
Présenté à
33rd International Conference on Micro- and Nano Engineering 2007 (MNE 2007), Copenhagen, Denmark, 23-26 Sept, 2007
Date
2007
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IGM - Institut de génie mécanique > NEMS - Laboratoire de systèmes nano-électromécaniques
Travail produit à l'EPFL
Publié
Posters
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IGM - Institut de génie mécanique > NEMS - Laboratoire de systèmes nano-électromécaniques
Travail produit à l'EPFL
Publié
Posters
Date de création de la notice
2007-09-25