Towards Reliable 100-Nanometer Scale Stencil Lithography on Full Wafer: Progress AND Challenges
2007
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Détails
Titre
Towards Reliable 100-Nanometer Scale Stencil Lithography on Full Wafer: Progress AND Challenges
Auteur(s)
Vazquez Mena, O. ; van den Boogaart, M.A.F. ; Brugger, J.
Présenté à
14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers ’07), Lyon, France, 10-14 June, 2007
Date
2007
Laboratoires
LMIS1
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Présentations & Talks
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Publié
Date de création de la notice
2007-09-14