Co-integration of gate-all-around MOSFETs and local silicon-on insulator optical waveguides on bulk silicon for GHz on-chip optical signaling
2006
Détails
Titre
Co-integration of gate-all-around MOSFETs and local silicon-on insulator optical waveguides on bulk silicon for GHz on-chip optical signaling
Auteur(s)
Moselund, K. E. ; Tschuor, L. ; Bouvet, D. ; Pott, V. ; Dainesi, P. ; Eggimann, C. ; Le Thomas, N. ; Houdré, R. ; Ionescu, A. M.
Publié dans
Proceedings of IEEE 2006 silicon nanoelectronics workshop, VLSI 2006 workshop
Pages
31-32
Date
2006
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > NANOLAB - Laboratoire des dispositifs nanoélectroniques
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > IPHYS - Institut de physique > SCI-SB-RH - Group SCI SB RH
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2007-05-16