MEMS Tunable Capacitor with Fragmented Electrodes and Rotational Electro-Thermal Drive
2006
Détails
Titre
MEMS Tunable Capacitor with Fragmented Electrodes and Rotational Electro-Thermal Drive
Auteur(s)
Mehdaoui, A. ; Pisani, M. B. ; Tsamados, D. ; Casset, F. ; Ancey, P. ; Ionescu, A. M.
Publié dans
Proceedings of the 2006 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS / MOEMS, DTIP 2006
Date
2006
Autres identifiant(s)
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DAR: 11999
DAR: 11999
Laboratoires
NANOLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > NANOLAB - Laboratoire des dispositifs nanoélectroniques
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2007-05-16