Suspended-Gate MOSFET: bringing new MEMS functionality into solid-state MOS transistor
2005
Détails
Titre
Suspended-Gate MOSFET: bringing new MEMS functionality into solid-state MOS transistor
Auteur(s)
Abelé, N. ; Fritschi, R. ; Boucart, K. ; Casset, F. ; Ancey, P. ; Ionescu, A. M.
Publié dans
IEEE International Electron Device Meeting
Pages
479-481
Date
2005
Autres identifiant(s)
Afficher la publication dans Web of Science
Laboratoires
NANOLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > NANOLAB - Laboratoire des dispositifs nanoélectroniques
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2007-05-16