Photoplastic shadow-masks for rapid resistless multi-layer micropatterning
2001
Résumé
not available
Détails
Titre
Photoplastic shadow-masks for rapid resistless multi-layer micropatterning
Auteur(s)
Kim, G M ; Kim, B J ; Brugger, J
Publié dans
Proceedings of 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (Transducers ’01) and Eurosensors XV
Pages
1632-1635
Présenté à
11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (Transducers ’01) and Eurosensors XV, Munich, Germany, 10-14 June, 2001
Date
2001
Laboratoires
LMIS1
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2007-04-13