MEMS-based nanopatterning and NEMS
Brugger, J
2004

Résumé

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Détails

Titre MEMS-based nanopatterning and NEMS
Auteur(s) Brugger, J
Présenté à 1st Nanospain workshop, San Sebastian, Sapin, 10-12 March, 2004
Date 2004
Laboratoires LMIS1
Le document apparaît dans Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Présentations & Talks
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice 2007-03-06

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