Micro- and nano-patterning using local deposition through miniaturized shadow mask
2003
Résumé
not available
Détails
Titre
Micro- and nano-patterning using local deposition through miniaturized shadow mask
Auteur(s)
Kim, G M ; Brugger, J
Présenté à
5th Korean MEMS Conference, Jeju, Korea, 15-17 May, 2003
Date
2003
Laboratoires
LMIS1
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Présentations & Talks
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2007-03-02