Interfacial structure of titanium silicide films on silicon
1987
Détails
Titre
Interfacial structure of titanium silicide films on silicon
Auteur(s)
Catana, A ; Heintze, M ; Lévy, F ; Schmid, PE ; Stadelmann, PA
Publié dans
18th International Conference on the Physics of Semiconductors
Volume
1
Numéro
2
Pages
327-330
Date
1987
Editeur
World Scientific
Laboratoires
CIME
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > CIME - Centre interdisciplinaire de microscopie électronique
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2007-02-15