Powder agglomeration study in RF silane plasmas by in situ polarization-sensitive laser light scattering and TEM measurements
1996
Files
Détails
Titre
Powder agglomeration study in RF silane plasmas by in situ polarization-sensitive laser light scattering and TEM measurements
Auteur(s)
Courteille, C. ; Hollenstein, Ch. ; Dorier, J.-L. ; Gay, P. ; Schwarzenbach, W. ; Howling, A.A. ; Bertran, E. ; Viera, G. ; Martins, R. ; Macarico, A.
Date
1996
Mots-clés (libres)
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
Publié
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
Publié
Date de création de la notice
2008-04-18